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          當(dāng)前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  英國密析爾  >  高純氣分析儀  >  Pura密析爾高純氣露點(diǎn)變送器氣體分析儀

          密析爾高純氣露點(diǎn)變送器氣體分析儀

          簡要描述:密析爾高純氣露點(diǎn)變送器氣體分析儀,在很多超純氣應(yīng)用,諸如半導(dǎo)體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來,對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點(diǎn),需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。

          • 產(chǎn)品型號:Pura
          • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
          • 更新時間:2023-10-08
          • 訪問次數(shù):1421

          詳細(xì)介紹

          處理量50L/D-20T/Dm3/h,0.01-1m3/h水泵功率0.37kw
          額定電壓220v揚(yáng)程10m
          測量范圍100儀器種類熱導(dǎo)式
          基本誤差1%FS氣體流量1ml/min
          外形尺寸190*150*100mm顯示方式數(shù)字式
          電源電壓24V產(chǎn)地進(jìn)口
          加工定制

          密析爾高純氣露點(diǎn)變送器氣體分析儀,在很多超純氣應(yīng)用,諸如半導(dǎo)體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來,對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點(diǎn),需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案,用來在線測量露點(diǎn)值,下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。

          Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn),結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。



           

          亮點(diǎn)

          • 測量下限 -120°C 露點(diǎn) (1 ppbV)
          • 測量穩(wěn)定,重復(fù)性好
          • 高度集成的采樣裝置
          • 模擬和數(shù)字輸出
          • 安裝簡便
          • VCR 過程接口
          • 設(shè)計(jì)緊湊小巧
          • 顯示/報(bào)警單元可選

          Pura

          密析爾高純氣露點(diǎn)變送器氣體分析儀,技術(shù)指標(biāo)

          傳感器
          傳感器類型密析爾陶瓷濕度傳感器
          量程-120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗(yàn)到 -100 ~ -40°C)
          精度±1°C   -40 ~ -60°C;
          ±2°C   -61 ~ -100°C;
          ±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)
          分辨率0.1°C        -40 ~ -79.9°C;
          1°C           -80 ~ -100°C;
          1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C
          壓力低 10-9 torr; 大 24 MPa
          氣體流量1 ~ 5 Nl/min
          電氣
          電源通常 24 V DC, 低10 V ~ 高28 V , 大電流 25 mA
          輸出4-20 mA 輸出, 對應(yīng)范圍可由軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供)
          大負(fù)載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
          輸出出錯狀態(tài)標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
          機(jī)械性能
          傳感器套筒不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋光
          氣路連接端口Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口
          Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口
          安裝配置Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙
          底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm
          Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ½" VCR 端口中
          尺寸Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
          Pura Sensor 型: 132 x 35mm
          重量Premium 或 OEM 型: 450g
          Pura Sensor 型: 180g
          包裝Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
          Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝
          所有選配件: 獨(dú)立包裝運(yùn)輸
          Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套,用以運(yùn)輸及操作

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